天津厂房净化告诉大家电子制造业万级洁净厂房有什么特点
洁净度高,根据需要控制风量、温度、压力差和设备排气量。照明、洁净室横断面风速根据设计或规范进行控制。此外,洁净室对静电的要求非常严格,需要湿度的要求。特别是,由于静电很容易在工厂产生静电,导致CMOS集成损坏。一般来说,电子工厂的温度应控制在22度左右,相对湿度应控制在50-60%之间。相关的温度和湿度规定,可有效消除静电,使人感到舒适。芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。在制造和生产过程中,对室内空气环境和质量的要求非常严格。主要目标是控制颗粒和浮尘。同时,严格控制环境温度、湿度、新风量和环境噪声。
1电子制造10000级洁净室的噪声水平(空状态)不应超过65 dB(a)。
2电子制造洁净室垂直流动洁净室全布料比例不应小于60%,水平单向流动洁净室不应小于40%,否则是局部单向流动。
3电子制造的洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4洁净室的空气量和维持室内正压所需的新鲜空气量之和。
5确保洁净室每小时的新鲜空气量不低于40立方米。
6电子制造业净化室净化空调系统加热器,应设置新鲜空气,超温电源保护,如果使用加湿点应设置为无水保护,严寒地区,应设置新鲜空气系统,防止结霜。采取措施。
7确保电子制造厂洁净室空气洁净度的供气量。
8根据热湿负荷的计算确定电子厂洁净室的送风量。
9供应给电子制造厂洁净室的新鲜空气量。